e-skin flat đảm bảo định vị cực chính xác mà không có hiệu ứng đa giác

Sản xuất vi điện tử và các linh kiện bán dẫn đặt ra yêu cầu cực cao đối với máy móc. Các ứng dụng như pick & place, microdicing hoặc xử lý laser nói riêng đòi hỏi độ lặp lại, động lực học và ổn định nhiệt cao nhất với sự phát xạ hạt và mài mòn tối thiểu. Ở đây các hệ thống thông thường với bạc con lăn dẫn hướng và xích dẫn cáp nhanh chóng đạt đến giới hạn của chúng. Hiệu ứng đa giác, ma sát hoặc rung động của xích dẫn cáp thông thường làm giảm đáng kể độ chính xác. Đồng thời, ngành công nghiệp yêu cầu các giải pháp có thể được vận hành suốt ngày đêm trong các phòng sạch thuộc ISO Class 5 đến 3 mà không cần bảo trì thường xuyên.

JAT muốn giải quyết những thách thức này bằng cách tích hợp CFRP cấu trúc nhẹ, công nghệ đệm khí và đá granit vào một hệ thống đa trục như các tính năng thiết kế cơ bản. Tuy nhiên, để đạt được khả năng định vị chính xác đến nanomet cũng như gia tốc và thời gian chu kỳ cực cao, công ty cần một hệ thống cấp nguồn chính xác và tương thích với phòng sạch để tránh hoàn toàn các tác động cơ học như ma sát hoặc rung động.

JAT đã chọn hệ thống e-skin flat, được phát triển đặc biệt cho các ứng dụng phòng sạch có tính động học. Hệ thống cấp nguồn tiết kiệm không gian này không chỉ đáp ứng các yêu cầu phòng sạch đối với ISO Class 5, mà còn có thể tuân thủ theo các tiêu chuẩn cao hơn như ISO 4 hoặc ISO 3.

So với các xích thông thường, e-skin flat loại bỏ các ảnh hưởng cơ học như hiệu ứng đa giác, lực ma sát và rung động có thể làm giảm độ chính xác định vị của hệ thống gantry. Với thiết kế mô-đun, e-skin flat có thể được tích hợp linh hoạt vào cấu trúc mà không làm tăng yêu cầu về không gian. Sự phát thải hạt thấp và tính năng không cần bảo trì của hệ thống đảm bảo hoạt động liên tục 24/7 mà không bị hạn chế trong phòng sạch.

Kết quả là một hệ thống đa trục đạt gia tốc lên đến 100m/s² và định vị các linh kiện với độ lặp lại ± 0.1µm. Sự kết hợp giữa các linh kiện nhẹ và hệ thống dẫn hướng cáp không cần bôi trơn làm tăng hiệu quả không chỉ trong sản xuất vi điện tử mà còn góp phần vào tính bền vững. Bằng cách thay thế nhôm bằng CFRP và tránh sử dụng chất bôi trơn, JAT đã có thể giảm đáng kể dấu chân CO² của mình.

Ngay cả trong giai đoạn phát triển, việc sử dụng digital twin cho phép vận hành ảo, giúp tăng tốc tích hợp hệ thống. Khách hàng được hưởng lợi từ một giải pháp mạnh mẽ và ít bảo trì, gây ấn tượng với độ chính xác và động học tối đa - lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi khắt khe trong sản xuất vi điện tử và chất bán dẫn.